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旋片真空泵真空抽气工作方式介绍
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旋片真空泵真空抽气工作方式介绍
作者:admin 来源: 日期:2014-1-22 15:38:52 人气: 标签:旋片真空泵

旋片真空泵是一种用一对高速旋转的双叶形(即“S”字型、草鞋型)转子来抽除气体的机械真空泵,其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。由于泵转子与空腔之间经常保持不大的隙缝(0.1~0.15毫米),从而保证在10-1~10-2乇之间有较大的抽速,这就刚好弥补了油封机械泵和油扩散泵在此压力范围内抽速很小的缺陷,在真空系统中起增压的作用。  

旋片真空泵在高压力下,气体分子平均自由程比隙缝的宽度要小(<0.1-0.15毫米),相对来说隙缝就有相当大的通导能力,易使大量的气体通过隙缝又返流到被抽容器中去,使泵不能有效地工作,相反,在低压力下,气体分子平均自由程增大,这时隙缝的通导能力就大为减小,即气体漏过微小隙缝的阻力增大,使泵能有效地工作,获得较高的压缩比,即获得较高的真空度。  

因此,旋片真空泵不能将被抽的气体直接排向大气,这样它就必须配置前级真空泵,使旋片真空泵的排气端造成一定的预真空,否则不能获得较高的真空度。并且会因过载过热使转子卡住甚至损坏。

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